Lehrstuhl für Technische Elektrophysik - TU München

Ausstattung des Lehrstuhls für Technische Elektrophysik

 


Geräte und Labore

Meßplatz zur Charakterisierung von MEMS (basierend auf Weißlichtinterferometrie)

  • Weißlichtinterferometer
    • Typ: Veeco WYKO NT 1100 DMEMS
    • Statische und dynamische Topographiemessung
  • Druckkammermeßsystem
  • Impedanzanalysator
  • Anregung mittels Hochspannungsfunktionsgenerator
 Weißlichtinterferometer

Meßplatz zur Charakterisierung von MEMS (basierend auf Laservibrometrie)

  • Scanning Vibrometer
    • Typ: Polytec MSA-500
    • Dynamische Messung
  • Druckkammermeßsystem
  • Anregung mittels Hochspannungsfunktionsgenerator
  • Anregung mittels Piezoschwinger
Bild Polytec MSA-500

Hochtemperaturmeßplatz

  • Messaufbau zur Charakterisierung von Halbleitern bei hohen Temperaturen im Vakuum
Hochtemperatur_Meßplatz

Optikmeßplatz zur Charakterisierung von Wide-Bandgap Halbleitern

  • Meßaufbau zur elektrothermischen Charakterisierung von SiC-Bauelementen
  • Schwingungsgedämpfter Optiktisch
  • Verschiedene Halbleiterlaser
  • Meßequipment: Strompulser, Oszilloskope, Halbleiterdetektoren
Optischer_Meßplatz

Reinraum

  • Naßchemische Arbeitsplätze
  • Fotolithografie
  • Oxidationsofen
  • KOH-Ätzung
  • Bedampfungsanlage
  • Mikroskope
Reinraum

Praktikumsräume

  • 13 PC Arbeitsplätze für Praktika und Schulungen
  • davon 8 Arbeitsplätze mit GPIB gesteuertem Meßequipment (Oszilloskop, Funktionsgenerator, Digitalmultimeter, Labornetzgerät, etc.)
  • Beamer

Seminarräume

  • großer Seminaraum mit 48 Sitzplätzen, zwei Beamern, Visualizer, PC, Audio- und Videoanlage
  • kleiner Seminarraum mit 24 Sitzplätzen, Beamer und Audioanlage.


 Softwarepakete

Der Lehrstuhl verfügt über ein leistungsfähiges Rechnernetzwerk in dem den Benutzern unter anderem folgende Softwarepakete zur Verfügung gestellt werden:
 
Ansys
 
Ansys Multiphysics ist ein Simulator für elektrische, thermische, mechanische und fluidische Problemstellungen.
 
Synopsys Mit den Synopsys TCAD Werkzeugen können Prozesse und Bauelementeigenschaften der Halbleitertechnologie simuliert werden.
 
Cadence Designumgebung für analoge, digitale, hochfrequenz und mixed-signal Schaltungen.
 
Coventor Architect3D und MEMS+:  Simulation von MEMS auf der Systemebene.
 
Comsol Comsol Multiphysics ist ein Paket zur Simulation von physikalischen Problemstellungen, die mittels partiellen Differentialgleichungen beschrieben werden können.
 
Standardsoftware wie Matlab/Simulink, Mathematica, Labview,...

 

Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik

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